本发明公开了一种硅片交接机械手、硅片交接装置及光刻机,该硅片交接机械手包括气浮吸附组件和电机,电机包括底座、线圈骨架和两个磁铁组件,线圈骨架上缠绕有线圈,线圈骨架套接于底座内侧;两个磁铁组件间隔设置在线圈骨架下方,磁铁组件呈U型,U型的槽与线圈骨架相对设置;气浮吸附组件包括轴套、轴座、气浮轴和吸附杆,轴套与线圈骨架连接,轴座与两个磁铁组件连接,气浮轴一端与轴座连接,另一端穿过两个磁铁组件之间的间隙和线圈骨架伸入轴套内,吸附杆与轴套套接并与气浮轴连接。上述硅片交接机械手能够提高光刻机的产率及曝光精度。本发明还提出一种具有该硅片交接机械手的硅片交接装置。
